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Joachim Frühauf - Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

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Joachim Frühauf - Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Brand : Springer, Binding : Taschenbuch, Edition : Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2005, Label : Springer, Publisher : Springer, medium : Taschenbuch, numberOfPages : 236, publicationDate : 2010-10-13, releaseDate : 2010-10-13, authors : Joachim Frühauf, ISBN : 364206048X

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